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半导体厂务项目工程管理

著者沈晓宇，王栋，戴丽华主编
ISBN9787111796831
分类号F407.63 经济
学科经济学
版次第1版
出版社机械工业出版社
丛书名先进半导体产教融合丛书
出版年2026
价格¥78.00
页码194页
类型 📄 纸质书
核心评分8.1/10
读者对象—
主题词半导体
内容简介：本书共7个单元，具体内容为半导体厂务项目工程管理概述、高低压电力系统和FMCS的设计与运行维护、动力系统的设计与运行维护、排气系统的设计与运行维护、洁净室系统的设计与运行维护、气化系统的设计与运行维护、纯废水系统的设计与运行维护。
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