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MEMS系统级建模

著者(德)塔玛拉·贝克唐德(Tamara Bechtold),(德)加布里尔·施拉格(Gabriele Schrag),冯丽红著,周再发,李伟华,黄庆安译
ISBN9787564172633
分类号TH-39 机械、仪表工业
学科工学
版次第1版
出版社东南大学出版社
丛书名微纳系统系列译丛
出版年2020
价格¥89.00
页码11,12,442页
类型 📄 纸质书
核心评分8.5/10
读者对象
主题词微机电系统——系统建模
内容简介:本书论述了MEMS系统级建模技术,内容共分五部分。第一部分介绍了MEMS宏模型建模技术的理论基础。第二部分介绍了基于集总单元的宏模型建模方法及其在电热执行器、RF MEMS器件、封装效应、分布效应上的仿真应用。第三部分介绍了各种数学模型降阶技术。第四部分介绍了完整系统的建模。第五部分介绍了商用软件中的系统级建模与仿真环境。
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