← 返回

高k栅介质材料与器件集成

著者何刚主编
ISBN9787302639145
分类号TN304.2 电子技术、通信技术
学科工学
版次第1版
出版社清华大学出版社
丛书名面向新工科的材料类基础教材丛书
出版年2023
价格¥79.00
页码272页
类型 📄 纸质书
核心评分10.0/10
读者对象—
主题词栅介质——介质材料——高等教育——教材
内容简介：本书共10章，包括了集成电路的发展趋势及后摩尔时代的器件挑战，栅介质材料的基本概念及物理知识储备，栅介质材料的基本制备技术及表征方法；着重介绍了栅介质材料在不同器件中的集成应用，如高k与金属栅、场效应晶体管器件、薄膜晶体管器件、存储器件及神经形态器件等。
登录后可荐购