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微电子工艺实验教程

著者王珏主编
ISBN9787121506901
分类号TN433 电子技术、通信技术
学科工学
版次第1版
出版社电子工业出版社
丛书名—
出版年2025
价格¥45.00
页码161页
类型 📄 纸质书
核心评分8.0/10
读者对象—
主题词微电子技术——实验——教材
内容简介：本书设计了12个实验,包括1个工艺仿真基础实验、6个单步工艺实验和5个成套工艺实验。每个实验均配有操作指导,还安排了启发性思考题和拓展实验内容。
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