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微电子制造科学原理与工程技术

著者(美)Stephen A. Campbell著,严利人，梁仁荣译
ISBN9787121447464
分类号TN405 电子技术、通信技术
学科工学
版次第2版
出版社电子工业出版社
丛书名—
出版年2023
价格¥159.00
页码11,595页
类型 📄 纸质书
核心评分9.3/10
读者对象—
主题词微电子技术——生产工艺——教材
内容简介：本书对微纳制造技术的各个领域进行了介绍，覆盖了集成电路制造所涉及的所有基本单项工艺，包括光刻、等离子体和反应离子刻蚀、离子注入、扩散、氧化、蒸发、气相外延生长、溅射和化学气相淀积等。对每一种单项工艺，不仅介绍了它的物理和化学原理，还描述了用于集成电路制造的工艺设备。
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