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等离子体刻蚀工艺及设备

著者赵晋荣主编
ISBN9787121450181
分类号TN305.7 电子技术、通信技术
学科工学
版次第1版
出版社电子工业出版社
丛书名集成电路系列丛书:集成电路产业专用装备
出版年2023
价格¥98.00
页码14,164页
类型 📄 纸质书
核心评分9.7/10
读者对象—
主题词等离子刻蚀——工艺学,等离子刻蚀——设备
内容简介：本书介绍了等离子体基础知识、基于等离子体的刻蚀技术、等离子体刻蚀设备及其在集成电路中的应用。
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