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半导体材料及器件辐射缺陷与表征方法

著者李兴冀等编著
ISBN9787576705447
分类号TN304 电子技术、通信技术
学科工学
版次第1版
出版社哈尔滨工业大学出版社
丛书名—
出版年2023
价格¥128.00
页码401页
类型 📄 纸质书
核心评分9.4/10
读者对象—
主题词半导体材料——研究,半导体器件——研究
内容简介：本书共分为4章：第1章为半导体物理基础，介绍缺陷相关理论；第2章介绍半导体材料器件与原始缺陷；第3章在辐射物理基础上，介绍了辐射诱导缺陷形成与演化、缺陷性质等模拟仿真方法及应用；第4章介绍半导体材料与器件缺陷表征与分析的常用方法。
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