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半导体材料

著者张源涛，杨树人，徐颖编著
ISBN9787030751911
分类号TN304 电子技术、通信技术
学科工学
版次第4版
出版社科学出版社
丛书名—
出版年2023
价格¥59.00
页码257页
类型 📄 纸质书
核心评分8.5/10
读者对象—
主题词半导体材料——高等学校——教材
内容简介：本书介绍了主要半导体材料硅、砷化镓等制备的基本原理和工艺，以及特性的控制等。全书共13章：硅和锗的化学制备；区熔提纯；晶体生长；为硅、锗晶体中的杂质和缺陷；硅外延生长；IIV族化合物半导体等。
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