半导体工艺和器件网页仿真软件Cogenda WebTCAD实用教程
内容简介:本书以半导体工艺和器件的仿真为主线,按照由简入繁、由低及高的原则循序深入,从仿真的数理基础及对TCAD/WebTCAD的认识出发、以半导体工艺基础及器件基础为知识储备,引出对基于WebTCAD的二维工艺仿真及二维器件仿真的详细介绍,并在此基础上介绍WebTCAD的实例库及具体应用,从而达到能熟练使用WebTCAD来进行半导体工艺和器件仿真的目的。本书主要内容包括仿真基础、仿真原理、TCAD/WebTCAD介绍、半导体工艺基础、半导体器件基础、基于WebTCAD的二维工艺仿真、基于WebTCAD的二维器件仿真,以及WebTCAD仿真实例等。
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