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内容简介：本书以低温等离子体技术为切入点,结合作者多年来的研究进展,介绍了等离子体的基本特性、工作原理、产生方法,及其在功能薄膜制备、材料改性、集成电路制造等工业领域的应用。全书共8章,内容包括电荷在电磁场中的运动、电子源与电子束、等离子体的特性及其应用、暗放电、直流辉光放电和直流电弧放电、射频等离子体、微波等离子体原理及应用等。