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薄膜物理与技术

著者沈杰，梅永丰等编著
ISBN9787122446763
分类号O484 物理学
学科理学
版次第1版
出版社化学工业出版社
丛书名—
出版年2024.05
价格¥66.00
页码241页
类型 📄 纸质书
核心评分9.7/10
读者对象—
主题词薄膜——表面物理学——高等学校——教材,薄膜技术——高等学校——教材
内容简介：本书阐述了薄膜物理与薄膜技术的基础理论知识，讲述了薄膜生长基础，薄膜生长技术，包括蒸发、溅射、离子镀、化学气相沉积、原子层沉积、化学溶液沉积以及纳米薄膜组装等，并对薄膜的基本性质及与光、电相关的一些薄膜材料进行了介绍。
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