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金刚石膜粒子探测器材料

著者夏义本著
ISBN9787030704276
分类号O572.21 数理科学和化学
学科理学
版次第1版
出版社科学出版社
丛书名先进功能材料丛书
出版年2022
价格¥150.00
页码299页
类型 📄 纸质书
核心评分8.1/10
读者对象—
主题词粒子探测器——金刚石涂层——膜材料——研究
内容简介：本书共十章，内容包括：自支撑金刚石膜的制备、金刚石膜表面导电性能研究、金刚石膜肖特基场效应晶体管、金刚石膜紫外光探测器、金刚石厚膜生长及其在微电子器件中的热沉应用等。
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