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微电子工艺与装备技术

著者夏洋，解婧，陈宝钦编著
ISBN9787030751928
分类号TN4 电子技术、通信技术
学科工学
版次第1版
出版社科学出版社
丛书名—
出版年2023
价格¥88.00
页码10227页
类型 📄 纸质书
核心评分9.3/10
读者对象—
主题词微电子技术
内容简介：本书介绍微电子制造工艺技术的基本原理、途径、集成方法与设备。主要内容包括：集成电路制造工艺、相关设备、新原理技术及工艺集成。
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