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内容简介：本书围绕FDSOI的基本概念和主要环节展开，共10章。第1章介绍FDSOI晶圆的制备工艺和关键技术；第2章介绍耦合效应；第3章介绍尺寸微缩效应、沟道短沟道效应、漏致势垒降低和迁移率崩塌等尺寸相关现象；第4章介绍浮体效应，包括翘曲、迟滞和锁存等浮体效应类型及其在FDSOI中的影响；第5章介绍FDSOI器件的工作原理、测试方法和表征技术；第6章介绍FDSOI MOSFET的表征方法；第7章介绍静电掺杂及相关器件；第8章介绍FDSOI特殊器件；第9章介绍能带调控器件；第10章介绍新兴器件。