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聚焦离子束：应用与实践

著者邓昱[等]著
ISBN9787305274091
分类号TL632 原子能技术
学科工学
版次第1版
出版社南京大学出版社
丛书名—
出版年2023
价格¥68.00
页码10193页
类型 📄 纸质书
核心评分9.2/10
读者对象—
主题词离子束聚变装置
内容简介：本书共分七章，从聚焦离子束的结构原理出发，紧密结合应用与实践，对聚焦离子束诱导沉积、溅射刻蚀、离子注入、离子束曝光、联合使用模式以及样品的前期处理进行阐述，并配有实际案例进行进一步详解。
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