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Ⅲ族氮化物薄膜生长与测试
著者
王文樑编著
ISBN
9787030826480
分类号
TB43 一般工业技术
学科
工学
版次
第1版
出版社
科学出版社
丛书名
—
出版年
2025
价格
¥98.00
页码
231页
类型
📄 纸质书
核心评分
9.7
/10
读者对象
—
主题词
氮化物
内容简介:
本书聚焦国家半导体战略,系统论述了宽禁带半导体核心材料Ⅲ族氮化物的基础理论、制备技术与性能评估方法。第一篇从晶体结构、物理化学特性出发,解析材料在光电子与高功率器件中的应用机理;第二篇介绍了化学/物理气相沉积技术原理与工艺优化策略;第三篇阐述了光学、电学等性能多维度表征方法。同时,书中结合了研究团队创新成果,为学科发展和产业升级注入新动能。
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