📖 书目详情
集成电路制造技术——原理与工艺
| 著者 | 田丽[等]编著 |
| ISBN | 9787121453694 |
| 中图分类 | TN405 电子技术、通信技术 |
| 学科分类 | 工学 |
| 版次 | 第3版 |
| 出版社 | 电子工业出版社 |
| 丛书名 | — |
| 出版年 | 2023 |
| 页码 | 10,322页 |
| 价格 | ¥79.90 |
| 可推荐册数 | 请登录后查看 |
| 核心评分 |
8/10
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📝 内容简介
本书共6个单元14章。第一单元介绍硅衬底，介绍单晶硅的结构特点，单晶硅锭的拉制及硅片(包含体硅片和外延硅片)的制造工艺及相关理论。第二~五单元介绍硅基芯片制造基本单项工艺(氧化与掺杂、薄膜制备、光刻、工艺集成与封装测试)的原理、方法、设备，以及所依托的技术基础及发展趋势。第六单元介绍集成电路制造工艺监控与生产实习实验；附录A介绍工艺模拟和SUPREM软件。
🏛️ 本馆馆藏信息
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